歡迎來本廠家咨詢,本廠家值得您選擇.微壓壓力校驗儀測量的步驟,微壓的一般特點就是壓力量程小,受到的環境影響很大,針對微壓測量,壓力校驗儀需要進行什么方面的工作呢。壓力校驗儀微壓傳感器的選擇,主要考慮用戶的使用量程,選擇不同的傳感器。微壓壓力校驗儀傳感器接口選擇,以及測量介質.微壓傳感器必須進行溫度補償,以減小環境溫度對壓力校驗儀壓力測量的影響。微壓測量的位置影響,應和校準狀態相同,如果位置不一致,則在壓力校驗儀測量前進行清零操作。
微壓壓力校驗儀靈敏度和線性度的有效仿真方法。實際的研究中,發現一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過這一方法實現了在滿量程范圍內不同壓力值下對傳感器電壓輸出值的估計,在此基礎上對壓力傳感器的靈敏度和線性度進行了有效仿真。
微壓壓力校驗儀發展迅速,新研制出的一類傳感器采用壓電單晶片結構,并內置前置放大器,通過放大器放大微弱信號并實現阻抗變換,從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點。這類傳感器已廣泛用于脈搏、管壁壓力波動等微小信號的檢測。但與此同時,對于微壓傳感器度的檢驗這一技術難題,就迫切需要簡便的測量裝置測量該類型傳感器的性能。根據力學原理,在角區存在應力集中效應,使硅膜在正面或背面受壓以后,角區會具有應力的極值,因此破裂首先從該處發生。引入應力勻散結構以后,使角區變成具有一定曲率的圓角區,使該區的應力極值下降。在硅膜與邊框或背島的交界處要形成有一定曲率半經的緩變結構,采用一般的常規各向異性濕法腐蝕是無法實現的。為此,采用了掩模-無掩模各向異性濕法腐蝕技術。更多相關產品,請咨詢本公司.